R14制冷剂，中文名称四氟化碳、四氟甲烷。R14制冷剂主要应用于要求温度非常低的深冷设备中（包括科研制冷、医用制冷等），R14同时也是超低温配合冷媒的重要组分。
R14制冷剂介绍
R14属于fc类制冷剂——对臭氧层没有破坏、但存在温室效应；目前对于R14制冷剂的生产、销售以及在新制冷设备上的初装、售后设备上的再添加均没有限制。
R14制冷剂用途
R-14作为一款特种超低温制冷剂，主要应用于要求温度非常低的深冷设备中（包括科研制冷、医用制冷等），R14同时也是超低温配合冷媒的重要组分。
四氟化碳（四氟甲烷）是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体，其高纯气及四氟甲烷高纯气配高纯氧气的混合气，可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻，在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、泄漏检验剂、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。
R14制冷剂包装运输
四氟甲烷R14对金属、合金不腐蚀，可用无缝钢瓶和铝合金容器装运，充瓶压力通常低于12.5Mpa，按压缩气体运输，钢瓶每五年检验一次，国外规定可用汽车、火车、轮船和飞机运输，国内目前无规定。
钢瓶包装（14MPa）（DOT-3AAGB-5099)，阀门（CGA-580/590,QF-2），32kg/48.8L，30kg/43.3L ，5kg/8L，2.5kg/4L。
R14制冷剂质量标准
产品质量标准（QUALITY STANDARD FOR CF4）
| 指标名称 | 高纯级 | 优级品 | 一级品 |
| 含量，%（v/v） ≥ | 99.99 | 99.9 | 99 |
| 氮气，%（v/v） ≤ | 0.002 | 0.03 | 0.3 |
| 氧气，%（v/v） ≤ | 0.0005 | 0.01 | 0.1 |
| 水份，ppm ≤ | 5 | 5 | 10 |
| 二氧化碳，ppm ≤ | 5 | 10 | 800 |
| 氟化碳，ppm ≤ | 15 | 20 | - |
| 酸度，（HF）ppm ≤ | 0.1 | 1 | - |
| 六氟化硫，ppm ≤ | - | - | 600 |
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