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R116制冷剂(六氟乙烷)

R116制冷剂,中文名称六氟乙烷,商品名称R-116,是一款特种超低温制冷剂,主要用作绝缘气、等离子蚀刻剂,高介电强度冷却剂等。

R116制冷剂

R1166制冷剂用途

R116作为一款特种超低温制冷剂,主要应用于要求温度非常低的深冷设备中(包括科研制冷、医用制冷等),R116同时也是超低温配合冷媒的重要组分。

六氟乙烷是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体,其高纯气及四氟甲烷高纯气配高纯氧气的混合气,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻,在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、泄漏检验剂、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。

六氟乙烷

R116制冷剂参数

名称:R116、FC-116 中文名称:六氟乙烷,电子级氟碳,全氟乙烷,氟里昂116
英文全称:hexafluoroethane 化学分子式:CF3CF3、C2F6
分子量:138 标准沸点:-78℃
临界温度:20℃ 临界压力:3MPa(绝压)
临界密度:0.613g/cm3 CAS编号:76-16-4

R116物化性质

冷媒名称 R-116
分子量 88.0
沸点(1atm),℃ -128
临界温度,℃ -45.67
临界压力,kPa3740
饱和蒸气压(25℃),kPa3650(-45.6℃)
汽化热/蒸发潜热(沸点下,1atm),kJ/kg-
破坏臭氧潜能值(ODP)0
全球变暖潜能值(GWP,100 yr)5700
ASHRAE安全级别A1(无毒不可燃)
原创文章,作者:制冷科普,如若转载,请注明出处:https://hfc.net/post/r116.html
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